1、真空系統(tǒng)為散泵機組:即為擴散泵+旋片真空泵;由高真空擴散泵擋板、旋片真空泵、電磁真空帶充動檔板閥(出前級管路充氣閥、連接管路、密封圈、復合真空計及配電柜等組成的抽氣系統(tǒng)

2、本機組不適宜抽除對金屬有腐蝕作用和對泵油起化學反應的氣體。它可作為真空冶煉、真空燒結、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、太空模擬實驗裝置等高科技設備的髙真空獲得裝置。工作環(huán)境溫度540℃,相對濕度不大于85%,冷卻水溫度25℃+5℃

3、真空度與真空泵的抽氣能力、艙室的密封性以及艙室內部材料(爐體內壁、實驗器件、熱沉等)的放氣量有關,本機組的極限壓力為1×10-3pa,使用壓力為1×10-2pa,抽氣時間約

4、擴散泵不能單獨形成抽氣,需由前級泵將系統(tǒng)壓力降低至擴散泵要求啟動的壓力之內,一般為≤10pa

5、在擴散泵的進氣口裝有新型的水冷檔板,可有效的防止擴散泵中的油蒸汽返流入真空室內,避免對實驗儀器的污染

6、為了防止前級泵中的真空油在停泵時返流入擴散泵泵腔內,需在前級真空的進氣口配電磁閥,在停泵時自動將系統(tǒng)管路隔離

7、閥門采用氣動動方式,操作方便。

8、在開始抽氣時,此系統(tǒng)中設置有預抽管路,被抽氣體不經過擴散泵而由前級泵直接抽岀,這樣做可避免被抽窖器中氣體對擴散泵的污染(水分、揮發(fā)物、雜質),待被抽容器壓力降低至a時,關閉預抽閥、開啟擋板閥,擴散泵開始對被抽答器開始正常抽氣。